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科学研究费採択课题详细 2008年度

LSIの高性能化を目的としてシリコン基板に导入された结晶歪の精密测定に関する研究

研究课题名 LSIの高性能化を目的としてシリコン基板に导入された结晶歪の精密测定に関する研究
研究种目等 特别研究员奨励费
研究概要  
研究者 所属 氏名
  工学 DC1 小瀬村大亮
补助金额(千円)
※直接経费のみ
600
研究期间 2008.4~2011.3
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