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走査型热顕微镜によるナノ热物性计测法の开発
| 研究课题名 | 走査型热顕微镜によるナノ热物性计测法の开発 | ||
| 研究种目等 | 基盘研究 （叠) | ||
| 研究概要 | （研究実施计画） 平成18年度には，厂颈翱2を基盘としたカンチレバー上に，热流计测用サーモパイル，温度计测用热电対，プローブ加热用ヒーター，接触热电対用电极を集积したプローブを试作し，ガラス基板に金电极を持つ试料に金薄膜をコートした试料に対して，接触热コンダクタンスと接触点温度の同时计测実験を试みた。结果として，接触热コンダクタンスの顕着な违いに対して，接触点温度计测の感度が着しく悪い结果となった。この原因は，カンチレバー先端部の电极构造が厂颈翱2/狈颈/笔迟の叁层构造であり，酸化防止层として被覆した笔迟层での温度変化が大きく，検出感度が悪いことが考察された。 本年度は，上记プローブ先端の电极构造を単纯化し，厂颈翱2/狈颈または厂颈翱2/笔迟の二层构造として，カンチレバーを试作し，厂罢丑惭上でフォースカーブモードを利用し，热コンダクタンスと接触温度の関係を予想通り検出できるか否かの评価试験を実施する。 また，试料の热伝导率计测は，试料に被覆された金属薄膜を介して行われるため，この金属薄膜の影响がどの程度の広がりと热伝导率计测精度に影响するかを热伝导解析により评価する。 さらに，热コンダクタンスと接触点温度の画像计测を実施し，安定した热物性画像が得られる条件を明らかにし，热物性値の微细スケール画像计测の评価を行う。 |
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| 研究者 | 所属 | 职 | 氏名 |
| 理工学部 | 助教授 | 中别府修 | |
| 补助金额（千円） ※直接経费のみ |
2,500 | ||
| 研究期间 | 2005.4～2008.3 | ||
| リンク | |||