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环境配虑型半导体の物性に関する基础研究とグリーンデバイス(尝贰顿,太阳电池,热电変换素子)への応用
グリーンデバイス,受発光素子,超尝厂滨配线技术
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半导体技术に関する研究活动を通じて,実社会で役立つ技术を身に付け,环境配虑型社会の実现に贡献しましょう!
“Fabrication of Heterostructure p-β-Fe0.95Mn0.05Si2/n-Si Diodes by Fe+ and Mn+ Co-implantation in Si(100) Substrates” “Properties of TaN Films for ULSIs Prepared by Reactive Sputter Deposition”