明治大学(以下、本学)は、国立研究開発法人新エネルギー?産業技術総合開発機構(NEDO)「ポスト 5G 情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発」において、技術研究組合最先端半導体技術センター(LSTC)が提案した「Beyond 2nm 及び短TAT半導体製造に向けた技術開発」が採択されたことを受け、研究開発共同実施先として本事業に参画することになりました。
本学では、理工学部电気电子生命学科の小椋厚志教授(再生可能エネルギー研究インスティテュート所长)を中心に研究开発を进めていくことになります。
この技术开発により、半导体の高性能化のみならず、长期化する半导体製造期间の短缩および早期的な製品の市场投入が可能となります。また、我が国の半导体製造の竞争力强化および半导体市场シェア挽回に大きく寄与することが可能になります。
さらには半导体の进化による础滨性能の飞跃的な向上と、短罢础罢化で、より多くの社会的ニーズへの対応を可能にし、社会课题解决と顿齿化推进に贡献することが期待されています。